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采用碳化硅陶瓷的研磨盘由于硬度高研磨盘的磨损小,且热膨胀系数与硅片基本相同因而可以高速研磨、抛光。特别是近几年来的硅片尺寸越来越大,对硅片研磨的质量和效率提出了更高的要求。
磨片设计选用合适的齿型以达到既定的打浆参数,还具有良好的耐磨性能和抗冲击韧性。纵观100多年来,范围的磨片制造和使用的发展中,石材、灰口铁、镍硬白口铁、高铬铸铁、镍铬合金、多元合金、不锈钢、碳化钨、高分子聚乙烯、改性尼龙、陶瓷、金刚砂等材料都得到过采用,鉴于耐磨性和经济性考虑,多元合金磨片和高铬铸铁磨片因良好的耐磨性能处于主导地位。具有表面粗粒的多元合金磨片倾向于对纤维更好的分丝帚化作用;特钢磨片倾向于纤维更剧烈的切断作用。
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